CKD化學(xué)液體用氣控閥 AMD013R AMD023R AMD033R
對應(yīng)不同規(guī)格的一體化機種!
品名:CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥
使用流體:純水、化學(xué)液體、空氣、氮氣(注1)
主要用途:化學(xué)液體供給裝置、清洗裝置
支持【流體壓力:0.5MPa】【流體溫度:120℃】。
AMD013R AMD023R AMD033R
對應(yīng)不同規(guī)格的一體化機種!
品名:CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥
使用流體:純水、化學(xué)液體、空氣、氮氣(注1)
主要用途:化學(xué)液體供給裝置、清洗裝置
支持【流體壓力:0.5MPa】【流體溫度:120℃】。
AMD013R AMD023R AMD033R
主要用途:清洗裝置· 化學(xué)液體供給裝置 | ||||||
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氣控閥 | ||||||
流體名 | 2通 | |||||
AMDZ※3R AMDO※3R AMD3※3R AMD4※3R AMD5※3R ……第2頁 | AMDO※2 ……第26頁 | AMD3※2 AMD4※2 AMD5※2 ……第30頁 | AMD41H AMD51H AMD61H ……第52頁 | AMD31M AMD51M ……第56頁 | ||
純水 | ● | ● | ● | ● | ● | |
酸性 流體 | 硫酸 | ● | ● | ● | ● | ● |
鹽酸 | ● | ● | ●(注10) | ● | ● | |
硝酸 | ● | ●(注5) | ●(注5) | ● | ● | |
氫氟酸(注2) | ●(注11) | ● | ●注5,10) | ● | ● | |
磷酸 | ● | ● | ● | ● | ● | |
氟化銨(注2) | ●(注11) | ● | ●(注5) | ● | ● | |
雙氧水 | ● | ● | ● | ● | ● | |
臭氧水 | △ | △ | △ | △ | △ | |
硫酸+雙氧水(注3) | ● | ● | ● | ● | ● | |
硫酸+臭氧 | △ | △ | △ | △ | △ | |
堿性 流體 | 氫氧化鈉 | ● | ● | ● | ● | ● |
氫氧化鉀 | ● | ● | ● | ● | ● | |
氨水 | ● | ●注6) | ●注6) | ●注6) | △ | |
有機類 流體 | 丙酮 | X | ●注6) | ●(注7) | ●注6) | — (注8) |
醋酸丁酯 | X | ●注6) | ●(注7) | ●注6) | — (注8) | |
異丙乙醇 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
其它 · 混合液 (注1) | 稀釋劑 | X | ● | ● | ● | — (注8) |
絕緣涂料 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
顯影液 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
研磨液 | ● | ● | ● | ● | 一 (注8) | |
電鍍液 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
剝離液(注4) | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
氣體 | 空氣、氮氣 | 氣體時,可能會發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。 | ||||
判定 | ● | 可以使用。(請在產(chǎn)品登載頁確認(rèn)詳情。) | ||||
△ | 請與本公司協(xié)商。(某些條件下可以對應(yīng)。) | |||||
X | 不可使用。 | |||||
注1 :由于通常采用各種各樣的化學(xué)液體的混合液,因此,無法掌握所有影響。 請在充分確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體的適用性后,判斷可否使用。 注2 :使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時,或者流體溫度超過40℃時,請咨詢本公司。 注3 :在100℃以上的溫度下使用硫酸+雙氧水時,請與本公司協(xié)商。 注4 :在流體溫度80℃以上的條件下使用胺類剝離液時,請定期更換。 建議最少一年更換一次。 注5 :請選擇選擇項“P”。 注6 :請選擇選擇項“M”。 注7 :進(jìn)行金屬配管時,請選擇不銹鋼閥體型號。 進(jìn)行氟樹脂配管時,請選擇選擇項“M”。 注8 :建議使用適于這些化學(xué)液體的AMD※※H系列或AMD※※2系列。 注9 :由于屬于高透過性化學(xué)液體,透過氣體將會混入先導(dǎo)空氣中,從而對執(zhí)行元件產(chǎn)生不良影響。 需要保護(hù)執(zhí)行元件時,請與本公司協(xié)商。 注10 :本公司可以提供采取了酸性流體對應(yīng)對策以及透過氣體對策的特注生產(chǎn)品。請另行與本公司協(xié)商。 注11 :使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時,流體溫度為5~80℃。無法使用旁通閥體。 注12 :氣體時,可能會發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。 |
規(guī)格 | ||||||
項目 | AMDO※3R | |||||
使用流體 | 化學(xué)液體、純水、空氣、氮氣(注1) | |||||
流體溫度 ℃ | 5~120(注3、注4) | |||||
耐壓力 MPa | 1.0 | |||||
使用壓力(A→B) MPa | 0~0.5 | |||||
使用壓力(B→A) MPa | 0~0.5 | |||||
閥座泄漏 cm3/min | 0(水壓) | |||||
背壓 MPa | 0~0.5 | |||||
環(huán)境溫度 ℃ | 0~60 | |||||
頻率 | 30次/分鐘以下 | |||||
安裝方式 | 自 由 | |||||
配管方式 | ODφ6 · φ8 · φ10配管連接(接頭一體型) OD1/4" · 3/8"配管連接(接頭一體型) | |||||
通徑 (注5) | φ3.5 | φ4 | φ6 | φ7 | φ8 | |
Cv值 (注6) | 0.28 | 0.34 | 0.64 | 0.7 | 0.8 | |
執(zhí)行器部 | 控制壓力MPa | NC · NO:0.35~0.5雙作用:0.3~0.4 | ||||
控制氣口 | Rc1/8(使用控制氣口NC:Y氣口 NO:X氣口 雙作用:X、Y氣口) | |||||
注1:請確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體、環(huán)境氣體的適用性后,再使用。(適用性核對表請參照卷頭第15頁。) 注2:有關(guān)流量特性,請參閱第122頁。 注3:氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體請在5~80℃的范圍內(nèi)使用。 注4:配管方式為F-LOCK60 系列接頭時,為5~100℃。 注5:各機種的通徑請通過型號表示方法進(jìn)行確認(rèn)。 注6: Cv 值為溫度23℃時的值。 |
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